CT系列低温泵建议启动操作：

1.    关闭真空腔室主阀，隔离真空腔室与低温泵。

2.    确保与低温泵配用的压缩机的运行条件正常 （压缩机供电、供水保证平稳通畅）。

注：初次使用压缩机，如果压缩机供电电网正常无大波动，合开关后立即跳闸，不能启动，则可能是相序接反，任意交换两相，则可以正常工作。

3.    CT泵上预留有吹扫气体连接口，建议连接吹扫气体回路通断阀，连接纯净惰性气体（可选纯净氮气），如有需要也可选吹扫气体加热器。

4.    确保低温泵预抽连接管路通畅，且仅与低温泵相通，但低温泵与预抽泵（组）之间的隔离阀处于关闭状态。

5.    打开吹扫回路通断阀，如有选用吹扫气体加热器可同时开启，对低温泵进行吹扫，如果泵配有加热毯也可在此时同时开启加热。吹扫时间可根据湿度状况设置长短，从几分钟到几小时均可（可先吹扫15分钟）。

6.    吹扫时间到，关闭吹扫阀，关闭吹扫气体加热器（如有），关闭加热毯（如有）。

7.    运行预抽泵（组），打开预抽阀，对低温泵进行预抽，使泵内真空度好于5Pa（真空度越高越好）。

8.    关闭预抽阀，检测压升率，压力上升不超过1 Pa/min，则进入下一步骤；如果压升超过1 Pa/min，请重复步骤5到7；如果泵内预抽时达到10^-2Pa或更好的真空度，则不用检测压升率，直接进入下一步骤。

9.    预抽泵（组）可停止工作或移作他用。启动压缩机，压缩机上大小两个开关均开启，低温泵开始运行降温，直到低温泵第二级温度降至17K以下，则泵进入抽空待命状态。

10. 如果真空腔室真空度好于5Pa（真空度越高越好），可以打开主阀，低温泵即可对真空腔室抽空。此时低温泵的启动过程就完成了。

注：低温泵运行全过程务必保持压缩机正常工作。

CT系列低温泵建议停机操作（真空腔室不再需要抽空，或是假日、休息日设备整体断电之前）：

1.     关闭真空腔室主阀，隔离真空腔室与低温泵。

2.     关闭压缩机。

3.     打开吹扫阀，如有选用吹扫气体加热器可同时开启，如果泵配有加热毯也可在此时同时开启加热，直到低温泵内温度回升到室温或高于室温。

4.     可在泵温回升到室温后延长时间吹扫（10分钟或根据需要），以确保泵内气体彻底排出，然后关闭吹扫阀，关闭加热器（如有），关闭加热毯（如有）。

5.     运行预抽泵，打开预抽阀，对低温泵进行预抽，使泵内真空度好于5Pa（真空度越高越好）。

6.     关闭预抽阀，停止运行预抽泵（组）。完成低温泵系统停机过程。

注：可选择在第4步或第6步完成停机过程。

 工艺间隔期间，或短时间腔室暴露大气，可以关闭主阀，隔离腔室和低温泵，并维持低温泵运行状态，可以不停机，以便于低温泵快速回到抽空状态！

 低温泵饱和时，需要做再生，先关闭主阀，CT系列泵建议参考OB泵再生流程进行再生，再生完成后可根据需要再打开主阀让低温泵参与抽空工作。

 Cryo-Torr系列低温泵详细的操作介绍请参考说明书8040613。