涡轮分子泵
涡轮分子泵——真空泵中的领导者
真空技术的应用,使大量高科技产品走入人们的日常生活。事实上,在研发和工业领域的大量应用都需要极低的绝对压力,即高真空环境。得名于涡轮机系列产品,涡轮分子泵代表着全球领先的技术标准。转速高达 90,000 rpm 的高速转子能产生应用所需的压力条件,从而产生在高真空和超高真空范围内的高达 10-11 mbar 的真空度。
普发真空涡轮分子泵代表着安全的性能
现代涡轮分子泵能获得超过 400 米/每秒的圆周速度。这将转化为相应的高转子动能,当转子和定子相触,动能将在瞬间传输到外壳和泵的底座上。因此,泵外壳的稳定性具有至关重要的作用,需经过理论和实际的双重检验。普发真空的涡轮分子泵已通过UL 61010和/或Semi S2认证。除机械安全性能外,该认证同时也包括了防火和转速过高的双重保护,这向认证是由普发真空与TÜV Rheinland共同开创的。
应用
在很多产品制造和工艺研究领域中,真空技术发挥着决定性的作用。涡轮分子泵对于制造极纯工艺条件具有至关重要的作用。
应用范围覆盖多个领域:
- 分析仪器(质谱分析法、显微镜等)
- 半导体行业(电子组件、集成电路、太阳能电池等)
- 光学/玻璃行业(隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等)
- 真空镀膜技术*(表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等)
- 真空冶金(真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等)
- 泄漏检测(真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业)
- 科研设施(核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等)
- 灯具行业(灯具生产等)